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HTC連續式真空訂制腔體的詳細資料:連續式(In-line)設備腔體的幾何形狀大都為矩形,依照基板傳輸方位可分為立式和臥式,腔體之間視制程的需求裝置閥門作為區隔,連續式腔體可以應用在:防電磁波干擾(Anti-EMI)鍍膜設備,表面裝飾鍍膜(SDC)設備、觸控面板鍍膜設備、薄膜太陽能電池鍍膜設備,Low-E玻璃鍍膜設備
連續式(In-line)設備腔體的幾何形狀大都為矩形,依照基板傳輸方位可分為立式和臥式,腔體之間視制程的需求裝置閥門作為區隔,連續式腔體可以應用在:防電磁波干擾(Anti-EMI)鍍膜設備,表面裝飾鍍膜(SDC)設備、觸控面板鍍膜設備、薄膜太陽能電池鍍膜設備,Low-E玻璃鍍膜設備。
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