深圳市科銳詩汀科技有限公司
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RQCM石英微天平的詳細資料：產品說明：RQCM是可以在材料沉積、分解或滲透過程中測量薄膜屬性的一種非常的方法，系統最多支持3片晶片同時被測量，所有數據會被隨時記錄并通過軟件轉變成圖表實時顯示到電腦的Windows窗口上，以便于觀察
RQCM石英微天平的詳細資料：
產品說明：
RQCM是可以在材料沉積、分解或滲透過程中測量薄膜屬性的一種非常的方法，系統最多支持3片晶片同時被測量，所有數據會被隨時記錄并通過軟件轉變成圖表實時顯示到電腦的Windows窗口上，以便于觀察。整套系統主要由石英晶體微天平、頻率范圍為3.8MHz-6MHz或5.1MHz-10MHz的鎖相振蕩器、以及晶片固定器（按不同材質，不同安裝方法分為CHC-100/CHK-100/CHT-100三種）和液體槽（FC-550和GC-15）所構成；另外，RQCM系統中所使用的晶片也與工業用的晶片不一樣，其中主要體現在晶片的尺寸上，微天平中所用的晶片都為直徑1″的大尺寸晶片,依據不同屬性，不同的工作溫度,形成一個系列，詳見附件。
主要特點：
1）晶體的頻率、質量、阻抗可實時測量
2）基于Windows下的軟件支持
3）支持3片晶片同時測量
4）測量分辨率<0.4ng/cm2
5）支持晶片滿載工作
6）具有可調抵消電容
7）晶片電極電信號隔離
8）機載的數據獲取功能
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