| 項目 / 型式 | CONTOURECORD 1600G | ||||||||||||||||
| -11 | -12 | -13 | -14 | -21 | -22 | -23 | -24 | ||||||||||
| 量測範圍 | Z軸（縱方向） | 50mm | |||||||||||||||
| X軸（橫方向） | 100mm | 200mm | |||||||||||||||
| 精度 | 檢出器 | Z軸指示精度 | ±0.25% | ||||||||||||||
| 測量解析度 | 0.1μm/5mm測量范圍,0.4μm/20mm測量范圍,1μm/50mm測量范圍 | ||||||||||||||||
| 驅動部 | X軸指示精度 | ±(1+2L/100)μm | |||||||||||||||
| 測量解析度 | 0.1μm | ||||||||||||||||
| 真直度精度 | 1μm/100mm | 2μm/200mm | |||||||||||||||
| 感應方式 | X軸（橫方向） | Moire光柵尺 | 線型尺 | ||||||||||||||
| 檢出器 | 差動變壓器 | ||||||||||||||||
| 速度 | 立柱上下速度(Z軸) | - | 10mm/s(3mm/s)*1 | - | 10mm/s(3mm/s)*1 | ||||||||||||
| 速度(X軸) | 測量速度：0.03、0.06、0.15、0.3、0.6、1.5、3、6mm/s(8速) | ||||||||||||||||
| 檢出器 | 測針、測量力 | 交換式，10～30mN | |||||||||||||||
| 測針半徑、材質 | 25μmR (24°圓錐超硬) 2支標準付屬品 | ||||||||||||||||
| 測量方向、方式 | 拉，壓方向，上下方向 | ||||||||||||||||
| 移動范圍 | 驅動部行程 | 100mm | 200mm | ||||||||||||||
| 測量高度 | 250mm | 450mm | 250mm | 450mm | |||||||||||||
| 平臺 | 尺寸 | 600*317mm | 1000*450mm | 600*317mm | 1000*450mm | ||||||||||||
| 容許載重量*2 | 41kg | 35kg | 26kg | 41kg | 35kg | 29kg | 20kg | 35kg | |||||||||
| 其它 | 設置尺寸 | 橫 | 2000mm | 2300mm | 2000mm | 2300mm | |||||||||||
| 寬 | 1000mm | 1000mm | |||||||||||||||
| 高 | 1700mm | 1900mm | 1700mm | 1900mm | |||||||||||||
| 質量 | 120kg | 125kg | 135kg | 240kg | 125kg | 130kg | 140kg | 245kg | |||||||||
| 電源、消耗電力 | 單相AC100V±10％（要接地）﹑50/60Hz / 710VA | ||||||||||||||||
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